前言：
在每單位空氣體積的潔凈空間進(jìn)行分類的水平標(biāo)準(zhǔn)，最大濃度限值大于或等于要考慮的顆粒大小。凈化工程指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過(guò)程即可稱為凈化工程。無(wú)塵室凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、高效空氣過(guò)濾器三級(jí)過(guò)濾。100000級(jí)空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過(guò)濾器代高效空氣過(guò)濾器。潔凈室對(duì)于凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問(wèn)題而言，常用的加濕方法有很多種，有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕，這些加濕方法屬等焓加濕過(guò)程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極（電熱）加濕是向空調(diào)送風(fēng)中噴蒸汽，其加濕方法屬等溫加濕過(guò)程。使用空方法和靜態(tài)方法進(jìn)行測(cè)試。
100，000級(jí)無(wú)塵車間：指空氣潔凈度為100，000的潔凈車間.空氣潔凈度是指在潔凈的環(huán)境中，空氣中懸浮顆粒的數(shù)量。當(dāng)粉塵濃度較高時(shí)，空氣潔凈度一般較低，而粉塵濃度較低時(shí)，空氣潔凈度較高。它是根據(jù)每立方米空氣的最大允許顆粒數(shù)來(lái)確定其空氣潔凈度水平。
本文詳細(xì)闡述了建造10萬(wàn)級(jí)潔凈車間的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范，并結(jié)合現(xiàn)行規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)，總結(jié)了潔凈度車間的特點(diǎn)，潔凈度達(dá)到10萬(wàn)級(jí)。
從通風(fēng)頻率的角度來(lái)看：
100,000級(jí)的要求是每小時(shí)18-25次。充分通風(fēng)后，空氣凈化時(shí)間不超過(guò)40分鐘。
10000級(jí)要求每小時(shí)通風(fēng)25/30，完全通風(fēng)后空氣凈化不超過(guò)30分鐘。
1000級(jí)每小時(shí)需要40-60次換氣，完全通風(fēng)后的空氣凈化時(shí)間不超過(guò)20分鐘。
包括10萬(wàn)級(jí)凈化車間在內(nèi)的各級(jí)潔凈度標(biāo)準(zhǔn)如下：
iso 14644根據(jù)懸浮粒子濃度的唯一指標(biāo)，將潔凈室及相關(guān)控制環(huán)境中空氣的潔凈度分類，只考慮累積分布在0.1微米至5.0微米之間的粒子群。
根據(jù)粒徑可分為常規(guī)顆粒、超微結(jié)構(gòu)顆粒和宏觀顆粒。
空氣潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)：ISO14644-1
空氣潔凈度等級(jí)
大于或等于標(biāo)準(zhǔn)粒徑的顆粒最大濃度限值
0.1 um
0.2 um
0.3 um
0.5um
1um
5 um
ISO Class 1
10
2
ISO Class 2
100
24
10
4
ISO Class 3
1 000
237
102
35
8
ISO Class 4
10 000
2 370
1 020
352
83
ISO Class 5
100 000
23 700
10 200
3 520
832
29
ISO Class 6
1 000 000
237 000
102 000
35 200
8 320
293
ISO Class 7
352 000
83 200
2 930
ISO Class 8
3 520 000
832 000
29 300
ISO Class 9
35 200 000
8 320 000
293 000
注意：由于測(cè)量過(guò)程中所涉及的不確定性，需要確定濃度不超過(guò)三個(gè)有效濃度數(shù)字的水平。
空氣潔凈度分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 16292-1996
粒徑、數(shù)值潔凈度級(jí)別
最大允許灰塵/立方米
微生物最大允許數(shù)
0.
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