?空氣過濾?：無塵車間的空氣循環(huán)首先通過初效過濾器、中效過濾器和高效過濾器進行過濾。初效過濾器主要過濾掉較大的顆粒物，中效過濾器進一步過濾中等大小的顆粒物，而高效過濾器（如HEPA或ULPA過濾器）則截留至少99.97%的0.3微米顆粒物，確保空氣的潔凈度。
?氣流管理?：無塵車間的氣流管理至關重要。常用的氣流方式包括層流和湍流。層流是指氣流以單一方向流動，速度穩(wěn)定，能夠有效帶走顆粒物；而湍流則通過不規(guī)則流動減少顆粒物在空氣中的停留時間。
?空調(diào)系統(tǒng)?：空調(diào)系統(tǒng)在無塵車間中扮演著重要角色，負責室內(nèi)空氣的循環(huán)、過濾、溫度和濕度控制。空調(diào)系統(tǒng)通過送風口將過濾后的空氣送入車間，并通過回風口將污濁空氣排出，形成一個循環(huán)系統(tǒng)。
?壓力控制?：為了保持車間的潔凈度，無塵車間還需要進行壓力控制。通常，主車間對相鄰潔凈房間的壓力差應≥5Pa，潔凈房間對非潔凈區(qū)的壓力差應≥10Pa，以防止外界污染進入車間。
?溫濕度控制?：無塵車間的溫度和濕度也有嚴格的要求。一般來說，冬季溫度應維持在16℃±2℃，夏季溫度應≤26℃±2℃，相對濕度應保持在45-65%RH，以確保設備和產(chǎn)品的穩(wěn)定運行。
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