1. 千級無塵潔凈實驗室
o 強調(diào)對塵埃粒子的控制，壓差設置是維持潔凈環(huán)境的重要手段之一。要求實驗室相對于相鄰的低潔凈度區(qū)域（如潔凈走廊）保持正壓。
o 正壓值一般在 5Pa 至 10Pa 之間。這是為了確保外界的塵埃粒子不會通過門窗等縫隙進入實驗室內(nèi)部，維持實驗室內(nèi)部的潔凈度。例如，在電子芯片制造的部分工序中，千級無塵潔凈實驗室可防止外界灰塵污染芯片，保證產(chǎn)品質(zhì)量。
2. 百級無塵潔凈實驗室
o 對潔凈度要求極高，對壓差的控制也更為嚴格。實驗室相對于相鄰區(qū)域必須保持穩(wěn)定且較高的正壓。
o 通常相對于潔凈走廊等相鄰區(qū)域的正壓值應維持在 10Pa 至 15Pa 之間。通過這種較高的正壓設置，能有效阻止外界空氣的滲透，即使在人員頻繁進出的情況下，也能保證外界的塵埃粒子難以進入實驗室。例如，在光學鏡片研磨、光刻等精密制造工序中，百級無塵潔凈實驗室可確保鏡片表面不會因塵埃污染而影響光學性能。
3. 十級無塵潔凈實驗室
o 是無塵潔凈等級最高的實驗室之一，對壓差的穩(wěn)定性和精確性要求近乎苛刻。
o 實驗室相對于相鄰區(qū)域的正壓值需精確控制在 15Pa 至 20Pa 之間，且壓差波動范圍應控制在極小范圍內(nèi)，如±1Pa。這種嚴格的壓差控制能保證實驗室內(nèi)部形成穩(wěn)定的氣流組織，最大限度地減少塵埃粒子的侵入。例如，在一些高端的半導體制造工藝中，十級無塵潔凈實驗室可滿足芯片制造對超高潔凈度環(huán)境的需求，確保芯片的良品率。
客服