近年，在這些規定范圍中保持處理空氣過程，相對濕度有一系列可能使凈化車間總體表現下降(descend)的因素(factor)，其中包括：特殊結構:莢膜、鞭毛、菌（fungus)毛生長;工作人員感到室溫舒適的范圍;出現靜電(是一種處于靜止狀態的電荷)荷;金屬腐蝕(釋義:指腐爛、消失、侵蝕等);水汽冷凝;光刻的退化;吸水性。電子廠凈化車間凈化車間材料是凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造地面可采用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
細菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨蟲)在相對濕度超過60%的環境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。在相對濕度處于40%至60%的范圍之間時，可以使細菌的影響以及呼吸道感染降至最低。相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會讓人感覺干燥，皮膚破裂，呼吸道不適以及情感上的不快。
高濕度實際上減小了凈化車間表面的靜電(是一種處于靜止狀態的電荷)荷積累──這是大家希望的結果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當相對濕度超過50%時，靜電荷開始迅速消散，但是當相對濕度小于30%時，它們可以在絕緣體(定義:不善于傳導電流的物質 )或者未接地的表面上持續存在很長一段時間。
相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中，半導體(semiconductor)凈化車間一般都使用額外（extra)的控制裝置以限制靜電(是一種處于靜止狀態的電荷)荷(electric charge)的積累。電子廠凈化車間凈化車間材料是凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造地面可采用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。到目前為止，在半導體凈化車間中最迫切需要適當控制的是光刻膠的敏感性。由于光刻膠對相對濕度極為敏感的特性，它對相對濕度的控制范圍的要求是最嚴格的水準。
很多化學反應的速度，包括腐蝕過程，將隨著相對濕度的增高而加快。所有暴露在凈化車間周圍空氣中的表面都很快地被覆蓋（Cover)上至少一層單分子層的水。當這些表面是由可以與水反應的薄金屬涂層組成時，高濕度可以使反應加速。潔凈車間的濕度控制（control)由其生產(Produce)工藝決定，但其精度（精確度）同時也要看其房間的大小例如計量室、光柵刻線室、精密(precise)儀器（appliance）制造和裝配車間等。
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