隨著生活水平的提高，人們也越來(lái)越嚴(yán)格的產(chǎn)品質(zhì)量要求。潔凈室室內(nèi)的氣流并不都按單一方向流動(dòng)。非單向流潔凈室有幾個(gè)共同的特點(diǎn)：終端過(guò)濾器（高效或亞高效）盡量接近潔凈室，它可以就是送風(fēng)口或直接連送風(fēng)口，也可以接到房間的送風(fēng)靜壓箱上；回風(fēng)口均設(shè)在潔凈室的下部，目的是避免出現(xiàn)“揚(yáng)灰”現(xiàn)象。非單向流潔凈室中都有渦流存在，不適宜用于高潔凈度的潔凈室中，宜用于6~9級(jí)的潔凈室中。凈化車(chē)間地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板。因此，電子車(chē)間潔凈廠房設(shè)計(jì)的各個(gè)方面，同時(shí)也增加了需求，尤其是在濕度方面，它的要求很高。
行業(yè)人士可能都明白這個(gè)道理：高濕度實(shí)際上減小了無(wú)塵電子車(chē)間表面的靜電荷積累，這是大家想要的結(jié)果；較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。
因此，當(dāng)相對(duì)濕度大于50%時(shí)，靜電電荷開(kāi)始迅速消散，而當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí)，它們?cè)诮^緣體或不接地表面上會(huì)持續(xù)很長(zhǎng)一段時(shí)間。
35％至40％之間的相對(duì)濕度，可以說(shuō)是令人滿(mǎn)意的妥協(xié)，半導(dǎo)體無(wú)塵室，潔凈室通常使用附加的控制裝置，以限制靜電荷的積聚。許多化學(xué)反應(yīng)速率，包括蝕刻過(guò)程中，由于相對(duì)濕度增加，加速了。所有暴露于潔凈室，周?chē)砻娴臐崈羰铱諝獗谎杆俑采w上的水的至少一個(gè)單層。當(dāng)這些表面由薄的金屬涂層的可與水反應(yīng)，在高濕度可以加速反應(yīng)。幸運(yùn)的是，一些金屬，如鋁，可以與保護(hù)性氧化物型水形成，并防止進(jìn)一步的氧化反應(yīng);然而，有不具有保護(hù)，例如氧化銅，在高濕度的能力另一種情況下，在銅表面易受腐蝕。
總之，干凈的電子車(chē)間濕度控制，主要在于其生產(chǎn)工藝要求，所以廠家進(jìn)行電子濕度嚴(yán)格要求的無(wú)塵車(chē)間是必要的。
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